随着回收砂比例的增大,钢线磨损增加,导致切割末端钢线直径变小,断线的几率也就随之增大;而且随切割时间的推移,碳化硅颗粒不断破碎磨损,切割能力必定有所降低,那么硅片出现锯痕的几率
就会增加,并且参加完整个切割过程后,胶面出刀部位很容易出现硅片小崩边现象。
1.根据机床试验部分对切割后的硅片若干组样品进行锯痕检测,从检测结果看出硅片锯痕值都能满足生产标准要求,但是不同回收砂比例切割后的硅片锯痕有一定区别,回收砂比例越大,锯痕越大,基本呈线性关系,每提高10%比例的回收砂,硅片锯痕值增大约0.8um。
2.根据机床试验部分对切割后的硅片若干组样品进行TTV检测,从检测结果看出硅片TTV值都能满足生产标准要求,但是不同回收砂比例切割后的硅片TTV有一定区别,回收砂比例越大,TTV值越小,因为回收砂比例增大后对硅的磨损普遍下降尤其是入线口处,每提高10%比例的回收砂,硅片TTV值减小约1.5um。
3.由硅片TTV和锯痕检测不难发现,不同回收砂比例切割硅片质量参数有不同之处,但是都符合生产质量的要求。而对应不同回收碳化硅使用比例所切割的合格率为95.45%、95.62%、95.23%。随着回收砂比例的增大,切割质量并未见多大影响,而且也并不是随比例增加呈线性关系。
通过试验数据可以看出,其它切割条件相同,使用不同回收砂比例切割,如果质量不稳定会使硅片切斜的几率增大,导致锯痕增大,同时增大回收砂比例也会对胶面出刀小崩边有一定影响。如果回收砂质量稳定的前提下,增大回收砂比例对硅片TTV有好的影响,但会使硅片锯痕稍偏大,也会不同程度的影响硅片小崩边尤其是出刀胶面小崩边会增多,如果工艺调试的比较匹配不会对切割合格率造成影响,而且随着回收砂比例的增大,对硅片切割成本有较大贡献。